Тонкопленочные акустоэлектронные компоненты СВЧ-диапазона
В связи с появлением современных технологий, позволяющих выращивать тонкопленочные пьезоматериалы, открываются принципиально новые возможности значительного повышения рабочей частоты акустоэлектронных устройств. В статье рассмотрены различные типы и конструкции СВЧ-акустоэлектронных тонкопленочных резонаторов на основе нитрида алюминия, работающие в диапазоне частот 2–30 ГГц.