Применение тонких пленок оксида алюминия в технологическом процессе изготовления МИС СВЧ на основе GaN
Внедрение новых конструкторско-технологических решений в производство СВЧ МИС требует всестороннего анализа результатов новых технологических процессов. В этой статье рассматривается анализ пленок оксида алюминия с целью внедрения в технологический процесс изготовления МИС СВЧ. 