Комплект МИС СВЧ для приемопередающих модулей 8-мм диапазона длин волн
Введение
Ka-диапазон известен тем что, имеет высокое атмосферное поглощение и короткую длину волны, что позволяет на небольших расстояниях проводить измерения сверхвысокого разрешения при небольших массогабаритных размерах радаров. Поэтому данный диапазон используется в таких системах, как управление воздушным движением, радиорелейная связь, терминалы спутниковой связи, РЛС, АФАР, автомобильные системы и т. д. Структурные схемы некоторых из возможных применений показаны на рис. 1.
В работе представлены конструкции серийных МИС СВЧ-усилителя мощности (УМ), малошумящего усилителя (МШУ) и активного умножителя на 4 для применения в составе как выше указанных, так и других приемо-передающих модулей 8‑мм диапазона длин волн, с общей герметизацией.
Описание конструкции модуля м421442 усилителя мощности
Усилитель мощности 8‑мм диапазона длин волн — модуль СВЧ М421442 реализован по технологии 0,15 мкм GaAs pHEMT на 100‑мкм подложке (предельная частота усиления по току 90 ГГц, рабочее напряжение 6 В, максимальный ток стока 600 мА/мм, пробивное напряжение сток-затвор 16 В, крутизна 460 мС/мм). Структурная схема представлена на рис. 2. УМ состоит из двух идентичных каналов, объединенных по входу/выходу синфазными делителем/сумматором. Канал построен по линейной 4‑каскадной схеме. Напряжение питания по затвору общее. Питание по стоку не объединено, и его необходимо подавать с двух сторон кристалла на каждый каскад. Выходной каскад реализован на транзисторах размером 10×75 мкм с общей шириной затворов в канале 3 мм. Выходная согласующая цепь реализована параллельным сумматором типа «шина». Применены схемотехнические решения для обеспечения безусловной устойчивости каскадов и снижения разбаланса между транзисторами.
На рис. 3 показана фотография кристалла усилителя мощности, смонтированного на металлическое основание, с фильтрующими конденсаторами по питанию. Габаритные размеры кристалла 2,87×2,56 мм.
Зондовые измерения СВЧ-характеристик выполнены в импульсном режиме со следующими параметрами: длительность импульса 5 мкс, период 250 мкс. Напряжение сток-исток модулировалось, напряжение смещения затвора было постоянным.
На рис. 4 показаны малосигнальные S‑параметры при входной мощности –20 дБм, напряжение на стоках +6 В, напряжение на затворе –0,9 В, ток покоя Idq = 1,2 А. В диапазоне частот 30–40 ГГц коэффициент усиления находится в пределах 22–26 дБ, КСВН по входу и выходу не более 2,5.
На рис. 5 приведены частотные зависимости коэффициента усиления, возвратные потери по входу, мощность на входе (Tr 5) и выходе (Tr 6) усилителя. Режим измерений: входная мощность 5–6 дБм, напряжение на стоках +6 В, напряжение на затворе –0,4 В, ток потребления 2,5 А. В диапазоне частот 30–40 ГГц выходная мощность при компрессии коэффициента усиления на 1 дБ (P1dB) находится в пределах 1–1,61 Вт, коэффициент усиления 25–26,6 дБ, возвратные потери по входу не более 3. В диапазоне частот 32–40 ГГц КСВН не более 2, выходная мощность P1dB составляет 1,19–1,61 Вт. Расчетное значение теплового сопротивления кристалла для непрерывного режима равно 8,5 °C/W при температуре канала +150 °C.
В таблице 1 представлено сравнение кристалла усилителя мощности с зарубежными аналогами.
| Параметр | М421442АО «Радиант-ЭК» |
HMC1029 Analog Device [1] |
TGA4516 Qorvo [2] |
TGA2575 Qorvo [3] |
| Диапазон частот, ГГц | 32–37
(30–40) |
29–37
(32–37) |
30–40
(32–37) |
32–38 |
| Коэффициент усиления, дБ | 22–27 | 22–25 | 14–20
(17–20) |
16–20 |
| КСВН входа/выхода | 2/2
3/2 |
1,4/1,5 | 5/4
(3,8/3,8) |
1,6/1,6 |
| Выходная мощность P1 dB, Вт | 1,19–1,61
(1–1,61) |
0,98–2
(1,41–2) |
1,78–2,51
(1,95–2,51)1 |
1,29–3,31 |
| Мощность потребления, Вт | 9–15 | 8,5 | 9 | – |
| Площадь кристалла, мм2 | 7,35 | 8 | 6,5 | 22,3 |
Примечание. 1Мощность насыщения
Описание конструкции модуля м431426: умножитель частоты на 4
Активный умножитель на 4 — модуль СВЧ М431426 реализован на технологии 0,15 мкм GaAs pHEMT на 100‑мкм подложке (предельная частота усиления по току 85 ГГц, рабочее напряжение 5 В, максимальный ток стока 500 мА/мм, пробивное напряжение сток-затвор 8 В, крутизна 580 мС/мм).
МИС СВЧ умножителя предназначен для умножения спектра входного сигнала в диапазоне частот 8–10 ГГц в выходной диапазон частот 32–40 ГГц, при номинальной входной мощности сигнала +12 дБм.
Данный проект завершился в 2022 году. На этапе разработки стоял выбор структуры построения умножителя. Чтобы реализовать требуемые параметры, был проведен анализ единичной ячейки умножения на 2. Анализ работы транзистора в режиме умножения заключался в нахождении оптимальных значений напряжений на стоке и затворе и определении требуемой мощности накачки для достижения минимального коэффициента преобразования. На основе этого была выбрана следующая структурная схема (рис. 6) — покаскадное умножение на 2 с последующими двумя каскадами усиления.
Применены схемотехнические решения для обеспечения безусловной устойчивости как каскадов умножения, так и каскадов усиления. Ширины транзисторов в каскадах усиления выбраны с учетом работы в режиме насыщения. Рабочий ток покоя каскадов умножения составляет 16 мА/мм, каскадов усиления — 100 мА/мм.
На рис. 7 показана фотография кристалла умножителя, подготовленного для зондовых измерений. Кристалл смонтирован на металлическое основание, с фильтрующими конденсаторами по питанию. Габаритные размеры кристалла составляют 2,32×1 мм.
Результаты измерений, проведенных на данной сборке, показаны на рис. 8. Измерения проводили в следующем режиме: входная мощность +12 дБм, напряжения на затворах Vg1 = Vg2 = –0,8 В, Vg3 = –0,4 В и напряжение на стоке Vd = +3,5 В. В этом режиме ток потребления в покое 24 мА, в режиме большого сигнала не превышает 80 мА (рис. 8б). Выходная мощность в диапазоне выходных частот 32–40 ГГц составляет 13–14,3 дБм (рис. 8в). В диапазоне входных частот 8–10 ГГц подавление гармоник в выходном спектре относительно четвертой гармоники составляет: для первой гармоники в пределах 31–53 дБ, для второй — в пределах 45–61 дБ, для третьей — в пределах 33–50 дБ (рис. 8а). На рис. 8г показа спектр сигнала на выходе умножителя для входной частоты 9 ГГц.

Рис. 8. Измеренные характеристики:
а) подавление гармоник относительно четвертой гармоники;
б) ток потребления;
в) мощность гармоник на выходе;
г) спектр на выходе
В таблице 2 дается сравнение умножителя М431426 с зарубежными аналогами.
| Параметр | М431426
АО «Радиант-ЭК» |
CHX2092a
UMS [4] |
MM4004
Miller MMIC [5] |
[6]
Fujitsu |
| Диапазон входной частоты, ГГц | 8–10 | 9–10
(8–10) |
8,5–9 | 8–10 |
| Диапазон выходной частоты, ГГц | 32–40 | 36–40
(32–40) |
34–36 | 32–40 |
| Входная мощность, дБм | 12 | 12 | 1 | 4,5 |
| Выходная мощность, дБм | 13–14,3 | 9–11
(2–11) |
16–18,3 | 8–20 |
| Подавление 1-й гармоники1, дБм | 3–53 | 34–39
(17–39) |
– | 39–59 |
| Подавление 2-й гармоники1, дБм | 45–61 | 27–37
(17–37) |
– | 19–40 |
| Подавление 3-й гармоники1, дБм | 33–50 | 14–21 | – | 40–75 |
| Мощность потребления, мВт | 280 | 280 | – | 1596 |
| Площадь кристалла, мм2 | 2,32 | 2,24 | 6,6 | 2,76 |
Примечание. 1Относительно четвертой гармоники
Описание конструкции малошумящего усилителя в Ка-диапазоне
Малошумящий усилитель реализован на той же технологии, что и умножитель на 4. Структурная схема кристалла МШУ показана на рис. 9. Усилитель состоит из трех каскадов с последовательно-параллельным питанием и цепями автосмещения. Данное решение позволяет снизить ток потребления и расширить применимость усилителя, так как требуется одно положительное напряжение питания. Для обеспечения минимума коэффициента шума и устойчивости схемы, в первом каскаде применена последовательная обратная связь. Ширины транзисторов в каскадах усиления выбраны с учетом работы в режиме насыщения. Режим транзисторов по току 100 мА/мм. Габаритные размеры кристалла составляют 2×1 мм.
На рис. 10 представлена фотография кристалла МШУ, подготовленного для зондовых измерений. Кристалл смонтирован на металлическое основание, с фильтрующим конденсатором по питанию.
Результаты зондовых измерений МШУ, проведенные на данной сборке показаны на рис. 11. Режим измерений: входная мощность –20 дБ, напряжение питания +5 В, температура окружающей среды +25 °C. Прибор в диапазоне частот функционирования 20–40 ГГц имеет коэффициент усиления 23–26 дБ (рис. 11б), возвратные потери по выходу не более –8 дБ (рис. 11а). Выходная мощность составила 10–12 дБм, при входной мощности –9 дБм (рис. 11б). Возвратные потери по входу в рабочем диапазоне 32–37 ГГц не более –6 дБ, коэффициент шума не более 2,3–2,8 дБ (рис. 11в). Ток потребления 34 мА. Измерения коэффициента усиления при температуре столика +85 °C показало снижение на 1 дБ. На рис. 11г отображен график устойчивости усилителя по критерию k‑фактора, минимальное значение 1,5.

Рис. 11. Измеренные характеристики МШУ:
а) возвратные потери по входу (красная линия), по выходу (синяя линия);
б) коэффициент усиления (красная линия), выходная мощность (синяя линия);
в) коэффициент шума измеренный;
г) коэффициент стабильности
В таблице 3 дается сравнение разработанной МИС СВЧ МШУ с зарубежными аналогами.
| Прибор | Диапазон частот, ГГц |
Коэффициент усиления, дБ | Коэффициент шума, дБ | КСВН входа/ выхода |
Выходная мощность, дБм | Мощность потребления, мВт |
Площадь кристалла, мм2 |
| Данная работа
АО «Радиант-ЭК» |
20–40
(32–37) |
22–26
(24–26) |
2,5–4
(2,3–2,6) |
5/2,5
(3/2,2) |
10–12,5
(11,5–12,5) |
100–170 | 2 |
| XL1000-BD
Macom [7] |
20–40
(32–37) |
16–23
(17,5–19) |
1,9–4
(1,9–2,3) |
3/3
(1,5/1,5) |
10–11,5
(10–11) |
105–250 | 2 |
| CMD299
Qorvo [8] |
18–40
(32–37) |
14–17 | 3,5–4,2
(3,5–3,8) |
2/2,5 | 2–8
(7–8) |
991 | 2,99 |
| HMC1040
Analog Device [9] |
20–44
(32–37) |
19–26
(22–24) |
2–5,5
(2–2,2) |
5/1,5
(2/1,5) |
12–15,5
(14,5–15) |
163–198 | 1,94 |
| CY2260UH/C1
Ommic [10] |
24–44
(32–37) |
25,5–26,5
(25,5) |
1,2–2,1
(1,5–1,8) |
1,7/2
(1,5–1,4) |
4–7
(6,5–7) |
771 | 5,04 |
| MML018
Miller MMIC [11] |
20–40
(32–37) |
19–22
(21–22) |
3,2–4
(3,3–3,5) |
2,5/1,5 | 7–10
(7–8,5) |
114–189 | 2,6 |
| ASL1030
Aelius [12] |
18–40
(32–37) |
19–23
(21–21,5) |
2–3,7
(2–3,5) |
5/3
(5/1,5) |
6–11,5
(10,5–11,5) |
138–220 | 2,21 |
Примечание.
1 Двухполярное питание.
2 Технология 0,07 мкм GaAs mHEMT
Заключение
В статье показаны характеристики разработанных серийных приборов, предназначенных для применения в составе герметизированных приемо-передающих модулях в Ka-диапазоне частот. Требуемые параметры кристаллов были получены с первой итерации. Сравнение с зарубежными аналогами показало, что достигнутые значения находятся на одном уровне. Компания АО «Радиант-ЭК» может провести разработку приборов по техническому заданию заказчика.
В табл. 4–6 показаны параметры приборов при температуре окружающей среды +25 °С, согласно техническим условиям, для поставки потребителю, категория качества «ОТК».
| Наименование параметра, единица измерения | Норма параметра | |
| не менее | не более | |
| Рабочий диапазон частот, ГГц | 32 | 37 |
| Коэффициент усиления, дБ | 19 | – |
| Выходная мощность насыщения, Вт | 1,5 | |
| КСВН вход/выход | – | 2 |
| Ток потребления, мА | – | 1600 |
| Гамма-процентная наработка до отказа, при g = 90%, тыс. ч | 50 | |
| Температура среды при эксплуатации, °С | –55 | +85 |
Примечание. При напряжении питания на стоке +6 В
| Наименование параметра, единица измерения | Норма параметра | ||
| не менее | номинал | не более | |
| Диапазон входной частоты, ГГц | 8 | – | 10 |
| Диапазон выходной частоты, ГГц | 32 | – | 40 |
| Выходная мощность, мВт | 9 | 11 | – |
| КСВН вход/выход | – | – | 2 |
| Ток потребления, мА | – | 80 | 130 |
| Гамма-процентная наработка до отказа, при g = 90%, тыс. ч |
50 | ||
| Температура среды при эксплуатации, °С | –50 | +85 | |
Примечание. При напряжении на затворах Vg12 –0,8 В, Vg3 –0,4 В, напряжении на стоках Vd +3,5 В, входной мощность +12 дБм.
| Наименование параметра, единица измерения | Норма параметра | |
| не менее | не более | |
| Рабочий диапазон частот, ГГц | 20 | 40 |
| Рабочий поддиапазон частот, ГГц | 32 | 37 |
| Коэффициент усиления, дБ | 18 | – |
| Коэффициент шума в рабочем поддиапазоне частот, дБ | 3 | |
| Выходная мощность, дБм | 9 | |
| КСВН вход/выход в рабочем поддиапазоне частот | – | 3 |
| Ток потребления, мА | – | 40 |
| Гамма-процентная наработка до отказа, при g = 90%, тыс. ч | 50 | |
| Температура среды при эксплуатации, °С | –50 | +85 |
Примечание. При напряжении питания +5 В.
Все представленные ссылки работают только через VPN (на 15.02.26)
- Datasheet HMC1029 Analog Devices.
- Datasheet TGA4516 Qorvo. https://www.qorvo.com/products/d/da004525
- Datasheet TGA2575 Qorvo. https://www.qorvo.com/products/d/da004116
- Datasheet CHX2092a United Monolithic Semiconductors.
- Datasheet MM4004 Miller MMIC. https://www.millermmic.com/pdf/mmic_freqmultiplier/MM4004.pdf
- Kamozaki , Bos T. A., Camargo E. A highly integrated Ka-band MMIC quadrupler. 2004 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest (IEEE Cat. No.04CH37535), Fort Worth, TX, USA, 2004, Vol. 1. DOI: 10.1109/MWSYM.2004.1335835
- Datasheet XL1000‑BD Macom. https://cdn.macom.com/datasheets/XL1000‑BD.pdf
- Datasheet CMD299 Qorvo. https://www.qorvo.com/products/d/da007693
- Datasheet HMC1040 Analog Devices.
- Datasheet CY2260UH/C1 Macom. https://www.ommic.com/datasheets/OMMIC_DATASHEET_LNA_CGY2260UH-C1.pdf
- Datasheet MML018 Miller MMIC. https://millermmic.com/pdf/mmic_amplifier/MML018.pdf
- Datasheet ASL1030 Aelius. https://www.aeliussemi.com/admin/uploads/751870572ASL1030_Rev1.0%20Mar%202018.pdf










25 июня, 2020
7 июля, 2020
21 января, 2020